簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "interference".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="四相位法"


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    相位干涉用於微奈米級之量測
    • 機械工程系 /95/ 碩士
    • 研究生： 邱吉豪   指導教授： 曾垂拱
    • 以往相位量測法，常用於表面緩慢變化的量測，如平坦度的檢測，而對有階級差的表面，受限於不是連續性的變化，因此不易進行。 本研究內容利用現有的設備建構一組改良式麥克森干涉儀，同時將光學顯微鏡與相位量測相…
    • 點閱：194  下載：8 

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    相位移干涉系統誤差分析與補償
    • 機械工程系 /94/ 碩士
    • 研究生： 蔡榮修   指導教授： 曾垂拱
    • 本研究是有關以光學干涉法進行物件表面的量測。在麥克森干涉系統中加入四分之一波片與偏光鏡來產生相位移的效果，由四相位法(Four-Frame Technique)，計算出代表各點高度的相位資料，以提昇…
    • 點閱：385  下載：5 
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